Apollowave Semi-automated Probe Systems AP-200、AP-300适用于-60℃~+350℃温度特性测试、微小电流测试的机型；可测试20kV以上、200A以上的功率器件。AP-200、AP-300分别对应6、8英寸晶圆测试；设计可置换干燥气体的微型密闭结构，可确保在低温时不结霜；微型密闭结构同样确保了可以稳定测试微小电流；软件操作界面简单、易懂；具有图像识别能力，可使晶圆自动对齐、芯片自动整列。

苏州启道 - Apollowave中国区正式授权代理商！

• 微小电流的IV测试(fA级)

• CV测试

• 20kV/200A级别的大功率测试

• 高频测试

• 各种电阻测试

• 温度特性实验

• TDDB等的可靠性实验

• 产品手册