Apollowave Manual Probe System α100手动探针台适用于4英寸晶圆及以下晶圆、芯片的IV/CV测试。最大对应4英寸晶圆的小型化探针台；载物台的XY轴移动采用快速定位器粗调、千分表微调方式；载物台的Z轴移动采用拉动式粗调、千分表微调方式；灵活的操作方法获得用户好评。

苏州启道 - Apollowave中国区正式授权代理商！

• 微小电流的IV测试(fA级)

• CV测试

• 高频测试

• 各种电阻测试

• 温度特性实验

• 产品手册