Apollowave Manual Probe System α150 α200 α300探针台适用于晶圆级别各类测试的标准型号。α150、α200和α300分别对应6、8、12英寸晶圆测试；可吸附固定芯片；载物台的XY轴移动采用快速定位器粗调、千分表微调方式，Z轴移动采用拉动式粗调、千分表微调方式；灵活的操作方法获得用户好评。

苏州启道 - Apollowave中国区正式授权代理商！

• 微小电流的IV测试(fA级)

• CV测试

• 20kV/200A级别的大功率测试

• 高频测试

• 各种电阻测试

• 温度特性实验

• TDDB等的可靠性实验

• 产品手册