Manual Probe System α200CS α300CS

Apollowave Manual Probe System α200CS α300CS手动探针台适用于-60℃~+350℃温度特性测试、微小电流测试的机型。α200CS、α300CS分别对应8、12英寸晶圆测试;可置换干燥气体的微型密闭结构,确保在低温时不结霜;其微型密闭结构同样确保可以稳定测试微小电流;载物台的XY轴移动采用快速定位器粗调、千分表微调方式,Z轴移动采用拉动式粗调、千分表微调方式。

苏州启道 - Apollowave中国区正式授权代理商!




• 微小电流的IV测试(fA级)

 CV测试

• 20kV/200A级别的大功率测试

• 高频测试

• 各种电阻测试

• 温度特性实验

 TDDB等的可靠性实验




产品手册